中科院院士王阳元为这本书撰写媒介，媒介中不仅对这本书进行评介，同时对我国微电子家当的现状与未来发展作出精辟剖析。
看重硅基集成芯片制造工艺事理的深入阐发
教材培植是人才培养的核心要素之一。作为一部教材，《硅基集成芯片制造工艺事理》关注芯片新技能，书中既先容了在前辈芯片制造中已被采取的新工艺，又列举了被业界普遍看好的未来器件候选者，对这些新成果的谈论有益于缩小教材与最新研究课题之间的间隔。
从左至右：茹国平、屈新萍、李炳宗、蒋玉龙为《硅基集成芯片制造工艺事理》读者署名
在主编李炳宗看来，该书一大特色在于特殊看重硅基集成芯片制造工艺事理的深入阐发，“早期教材里的知识比较大略，现在，我们将实验机理写了进去，涉及到材料科学、物理科学等领域的进一步研究。”李炳宗说。
除此之外，教材还特殊看重剖析工艺技能规律及其多重浸染，对芯片制造的各种技能规律演进进行了深入谈论，在各专题章节中，对各种干系物理、化学规律都有着详确的阐述与剖析。
“不仅可以作为高档学校干系专业的教材，又可作为家当的工程技能职员和科研领域的科技职员的参考书，对推进我国集成电***才培养、家当发展、科技创新将发挥积极的、有成效的浸染。”中科院院士王阳元在媒介中这样评价。
经由60余年迅速发展，半导体微电子技能已经改变并将连续深刻改变天下，集成电路家当已成为我国主要计策支柱性家当。高新技能之争的核心是人才之争，亟需持续发展壮大集成电***才培养奇迹，提升集成电***才培养质量，以办理“缺芯少魂”难题。
十年磨一剑，凝聚传授教化心得，先容“复旦工艺”
1983年3月22日，洛杉矶物理学年会上，谢希德、黄昆与参加会议留学职员合影
“很多人是读着黄昆、谢希德合著的《半导体物理》，进入半导体科技领域的。”李炳宗回顾道。这部由两位“大师长西席”亲自编纂的教材出版于1958年，是我国最早的半导体学术专著。
1958年，“半导体之母”谢希德师长西席在复旦大学创办了半导体物理专业，奠定了复旦微电子学科踏实的办学根基。自创立以来，该专业在我国微电子领域的发展中一贯处于领先地位，上世纪60年代，该专业研制成功多谐振荡器和锯齿波发生器两种锗集成电路，是我国试制成功的第一批集成电路样管，比2000年诺贝尔物理学奖得主Jack Kilby在世界上首次成功制得锗集成电路仅迟了约一年韶光。
1962年，李炳宗进入复旦大学，在谢希德师长西席的领导下开展半导体专业的传授教化和科研事情。“谢师长西席一贯非常关注微电子科技进步和人才培养。当年她的亲切教导、建媾和决议确定，勾引、影响了我们的人生轨迹和专业发展。”李炳宗在序言里这样回顾。
在复旦，李炳宗坚持传授教化三十余年，始终致力于为国家培养集成电路核心技能的开拓者、交叉领域的探索者和关键家当的领军者。与此同时，他也亲眼见证了复旦微电子学科的不断发展壮大。上世纪80年代，物理学系半导体微电子教研组与无线电电子学教研组及无线电物理教研组联合组建电子工程系；2001年，微电子教研组从电子工程系调出，设微电子系，从属信息科学与工程学院。
然而，“始终没有一本复旦自己编写、先容‘复旦工艺’的专业书本出版”，对李炳宗来说，这实在是一桩遗憾的事，“编写一本教材”这一想法在他脑海中酝酿已久。不谋而合的是，2006年，学院分管传授教化事情的领导也向他提出过这样的建议：是不是可以写本书，讲讲这些年的传授教化收成与心得？
两年后，李炳宗正式退休，心神专注编写教材的契机来了。
清晨7点起床，开启一天的文献阅读韶光；午饭后电视里的时势***是必要的“学术调处”，昼寝后再次回到电脑前，除了查阅资料外还做些校正事情；晚间的科研一样平常持续到九、十点……这个雷打不动的韶光表构成了李炳宗退休后最平常的一天。
“60年代参加事情的人基本都保持着这种‘三段式’的韶光安排，编写教材时，每搞懂一个问题我都很愉快！
”在他看来，这是对自己老年生活的空想安排，“状态放松，乐在个中。”
经由“十年磨一剑”，139万字的《硅基集成芯片制造工艺事理》在2018年正式定稿，后又历经了近三年的修正和校正，终于在2022年初正式出版。谈到这里，李炳宗有些热泪盈眶，他缓缓翻开面前这本厚重的教材，个人的科研激情亲切与对国家半导体技能发展的期待糅合一起，凝聚在这一页页的白纸黑字里。
编写教材的这十年里，复旦大学微电子学科连续发展。2013年，微电子学院成立，并于两年后成为首批获批培植的国家示范性微电子学院。2019年，微电子学院在全国率先试点培植“集成电路科学与工程”一级学科。2022年初，复旦大学集成电路科学与工程学科入选新一轮“双一流”培植学科。
2021年是谢希德师长西席的百年诞辰，李炳宗希望以此书纪念中国半导体科学技能的开拓者和复旦微电子学科的奠基人谢希德。
三十年如一日传授教化相长，为国家培养集成电***才
李炳宗在苏联
“天下是你们的，也是我们的，但是归根结底是你们的。你们青年人朝气发达，正在茂盛的期间，彷佛清晨八九点钟的太阳，希望寄托在你们身上……”
1957年，毛泽东在列宁山上的莫斯科大学礼堂上对中国青年寄予了热切的嘱托，彼时，在苏联留学的李炳宗就坐在台下，二心坎彭湃澎湃，毛主席的一番话也成为异日后的主要鞭策。
这段留苏经历，李炳宗至今回顾起来依然历历在目。莫斯科大学的根本理论课常日由资深教授，乃至是院士亲自授课。苏联“原子弹之父”阿尔茨莫维奇院士给他们讲授原子物理，著名理论物理学家朗道为高一届同学讲授多门理论物理，他们的《半导体物理》由教研室主任卡拉什尼科夫讲授。“他们讲课都像背出来一样，从不照本宣科，而且很民平易近……”
始终坚守传授教化岗位的苏联教授们深刻影响了李炳宗日后的传授教化理念。
在复旦执教的三十余年纪月里，他先后开设《半导体工艺》、《半导体物理》、《半导体薄膜》等多门课程，为国家培养了四十多名研究生，他们在海内集成电路企业、学校、研究单位发挥着重要浸染，或担当公司高管、技能主管，或成为高校传授教化、科研骨干。这次参与教材编撰的茹国平、蒋玉龙便是他的得意学生。“作为一位德高望众的老师、业界的威信学者，李炳宗丝毫没有架子，总是非常温和谦善，民平易近。”他的学生如此坦言。
完成教材的编写后，李炳宗仍一如既往关心着集成电路领域的干系***。对付这个领域的发展。他用了两个极度的词——“大”和“小”来形容。“大”是集成电路不断向着更大规模发展，至今已经发展到了“Very Large Scale Integration Circuit”；“小”是集成电路从最开始的晶体管可以实现的毫米最小量级，到如今险些靠近1纳米的量级。“这是集成电路领域独占的吸引力和生命力，也是一种学无止境、不断求索的科研精神。”李炳宗说。
在他看来，如今国家对集成电***才数量与质量需求更高，对微电子技能创新更急迫，对微电子专业年轻西席群体而言，既任重道远，又机遇难得。“在这个飞速发展的领域研讨，须要有敏锐的洞察力，还要记住技能是为人做事的，始终要学会精确地、积极地利用好技能。”他说。
对付有志于从事集成电路行业的青年学子，他的建议是“提升跨学科的能力”，“微电子学科与电子工程、物理、材料等学科关系十分密切，特殊须要多学科互助。求学期间多选修其他专业的课程，帮助自己探索前沿课题，取得创新成果。”
如今，复旦微电子人正在集成电路设计、集成电路设计方法学(EDA)、微纳电子材料与器件、集成电路制造工艺、集成电路装备与材料等多个领域，努力打破着前沿关键技能，不断促进“中国芯”技能进展，实现“科研报国”的誓言。李炳宗希望，这本《硅基集成芯片制造工艺事理》的出版，可以进一步助力微电子学科发展，推动高校培养出更高水平的集成电***才。
组 稿
融媒体中央、微电子学院
文 字
项天鸽、丁思同
责 编
李斯嘉
