在光学产品生产中,不同的工艺生产中纯水的用场及对水质的哀求也不同。洗濯需用纯水,如水中含有氯离子,电容器就会泄电。在电子管生产中,电子管阴极涂甫碳酸盐,如个中混入杂质,就会影响电子的发射,进而影响电子管的放大性能及寿命。继与东方、万新、和元等光学企业水处理互助后,近日为诚投光学供应了光学洗濯纯水设备做事,得到了用户切实其实定与好评。该纯水处理工艺为:预处理+RO反渗透+EDI+抛光混床,出水电阻值大于18兆欧。
一,光学洗濯纯水设备系统简介:
在光学产品制造工艺中,大约有80%以上的工艺直接或间接须要用到超纯水,并且大约有一半以上工序,如硅片直接与水打仗后,紧接着就进人高温过程,此时水中含有的杂质就会进入硅片而导致IC器件性能低落、成品率降落。确切一点说,向生产线供应稳定优质的超纯水将涉及到企业的本钱问题。

1.预处理系统
预处理系统作为反渗透的前处理,紧张目的是去除原水中的悬浮物、胶体、色度、浊度、有机物等妨碍后续反渗透运行的杂质。
预处理的设备紧张包括:原水箱、原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器等。
A.原水箱
原水首先流入原水箱。原水箱对原水的供给起到缓冲浸染,折衷原水的供给量与原水泵的输入量。当原水的供应量超过原水泵的输水量时,原水箱水满,通过原水箱的液位元元掌握利用原水供给停滞。当原水供应量小于原水泵的输水量时,原水箱空,原水泵停滞运行,起到保护原水泵的浸染。
B.原水泵
用于对原水加压,为预处理系统供应动力源,该泵具有体积小,高效率,低噪音等特点。
C.加药系统:(絮凝剂)
原水中投加入絮凝剂与原水中胶体、颗粒形成絮凝体,有利于在多介质过滤器中被过滤掉,提高过滤效果,进一步降落出水浊度,担保RO进水SDI≤2。
该设备占地小,安装移动方便。就位后,只要接上水、电,即可利用,操作管理简便,大大地减少操作职员的劳动强度。药剂的投加随高压水泵的启停而自动投加,药剂添加量是可调的。
D.多介质过滤器
本系统是对原水中悬浮物、颗粒物及胶体等物质进行去除,同时对原水中的浊度、色度起到降落浸染,它完备可能滤掉原水带来的颗粒、藻类等可见物。
多介质过滤是一种前辈的微絮凝过滤办法,多介质过滤器含有材质互异的多层过滤介质,完备能滤除不溶于水中的杂质,担保SDI值不大于3,是后级RO的强有力保护屏。能更好的去除水中的悬浮物或非溶解性粒子(氧化物、浊度、颗粒物等),具有低本钱,操作掩护、管理方便等特点,特殊是在降落原水中的浊度、污问鼎数等方面具有很好的效果。多介质过滤器反洗周期韶光为16-24小时。反洗以压力参数设备来掌握反冲洗周期,当进出水母管上的压力差达到0.5kg/cm2时即停滞运行进行反冲洗,反洗水可由单独设置的反洗水泵供水掌握和调节反洗水流量,反洗水强度应使滤层膨胀15-25%。反洗时送入压缩空气,擦洗滤料,其强度为30-50升/秒·米2,反洗水可用反渗透的浓水。
E.活性炭过滤器
市政自来水在经由消毒处理后,官网末梢的残余余氯是一种强氧化剂,如果不加以去除,会对树脂和反渗透造成不可逆转的破坏.用活性炭进行吸附处理,可以非常彻底地去除余氯。活性炭不仅吸附能力强,而且吸附容量大,其紧张缘故原由便是其多孔构造,其比表面积高达500-700m2/g。正是由于活性炭具有发达的细孔构造和巨大的比表面积,因此可以完备吸附水中的余氯及吸附部分有机物,而且对色度、臭味也有较好的去除效果。
2.反渗透脱盐水系统
反渗透系统承担了紧张的脱盐任务。反渗透系统设备包括阻垢剂加药装置、保安过滤器、一级高压泵、一级反渗透膜组、NaOH加药装置、二级高压泵、二级反渗透膜组、化学洗濯系统等。
2.2.1阻垢剂加药装置
阻垢剂加药系统在反渗透进水中加入阻垢剂,防止反渗透浓水中碳酸钙、碳酸镁、硫酸钙等难溶盐浓缩后析出结垢,堵塞反渗透膜。从而破坏膜元件的运用特性,因此在进入膜元件之前设置了阻垢剂投加装置。阻垢剂是一种有机化合物质,除了能在朗格利尔指数(LSI) =2.6情形下运行之外,还能阻挡SO42-的结垢,它的紧张浸染是相对增加水中结垢物质的溶解性,以防止碳酸钙、硫酸钙等物质对膜的阻碍,同时它也可以降落铁离子堵塞膜的微孔。
本系统推举利用入口PTP-0100复合阻垢剂,它具有:
1)抑制析出浸染。
2)分散浸染。
3)晶格扭曲浸染。
4)络合浸染。
2.2.2 保安过滤器
经由前面的石英过滤器、活性炭过滤器之后,原水中大颗粒悬浮物已基本被撤除,而一些小颗粒悬浮物则没有被撤除。在这里,再进行一次微滤,去除5μm以上的悬浮物,以保护RO膜不被堵塞。同时,一些活性炭细沫也被扣留在反渗透系统之外。保安装过滤器进出口设压力指示表,当压差增大到设定值时改换滤芯。
2.2.3 NaOH加药装置
在二级反渗透高压泵前加入NaOH,用以中和水中的CO2形成易于被RO膜脱除的Na2CO3。二氧化碳有两种效果:首先CO2和Ca2+、Mg2+形成碳酸盐类结垢,这种垢的形成与给水的离子浓度和PH有关。第二,由于CO2的电荷变革与PH值有关,而其被RO和EDI的撤除都依赖于其电荷,他的去除效率是有变革的。纵然较低的CO2都能显著地降落产品水的电阻率。以是本工艺设计了加碱调PH值技能,大大提高了RO系统的产水水质,知足EDI 装置对其进水水质的哀求,真正的发挥出EDI的前辈性。
2.2.4高压泵
高压泵是反渗透设备的紧张动力设备,高压泵设置有过热保护,泵前后分别设置低、高压保护开关。当高压泵进水压力低于设定值后,高压泵停运,以保护高压泵,当高压泵出口压力高于设定值后,高压泵停运,以保护反渗透膜。
2.2.5洗濯装置
反渗透膜在长期运行中,表面会逐渐有进水中存在的各种污染物的沉积而引起膜的污染,这造成系统性能(脱盐率和产水量)的低落,组件进出口压差的升高;膜的定期洗濯是防治膜污染的紧张方法之一。
反渗透装置在停运和化学洗濯前,都须要进行低压水冲洗;
在运行较永劫光后,若压差明显增大,产水量明显低落,则须要进行化学洗濯。
洗濯剂选用膜专用洗濯药剂,绝对无污染、无化学药剂残留;洗濯装置包括洗濯水泵、洗濯水箱以及洗濯用精密过滤器等。
2.2.6反渗透装置
反渗透系统紧张去除水中溶解盐类,同时去除一些有机大分子,前阶段未去除的小颗粒等。包括:高压泵、反渗透装置、反渗透洗濯系统等。
预处理系统产水进入反渗透膜组,在压力浸染下,大部分水分子和微量其它离子透过反渗透膜,经网络后成为产品水,通过产水管道进入后续设备;水中的大部分盐分和胶体、有机物等不能透过反渗透膜,残留在少量浓水中,由浓水管排出。
在反渗透装置停运时,自动冲洗3-5分钟,以去除沉积在膜表面的污垢,使装置和反渗透膜得到有效保养。
反渗透膜经由长期运行后,会积累某些难以冲洗的污垢,如有机物、无机盐结垢等,造成反渗透膜性能低落。这类污垢必须利用化学药品进行洗濯才能去除,以规复反渗透膜的性能。化学洗濯利用反渗透洗濯装置进行,装置包括一台洗濯液箱、洗濯过滤器、洗濯泵以及配套管道、阀门和仪表。当膜组件受污染时,可以用它进行RO系统的化学洗濯。
2.2.7 RO产水箱
用于储存反渗透产水,起到缓冲和调节水量的浸染,防止进水压力颠簸,担保高压泵的安全稳定运行,并通过掌握系统实现与高压泵的连锁。通过水箱的调节可担保RO系统在洗濯时有足够的水量供应后段用水,实现24小时连续运行。
3.EDI纯水系统
EDI精处理系统紧张功能是深一层撤除水中的盐类和离子,使水的纯度提高(电阻率≥15.0MΩ.CM);该装置产出水水质稳定,产出的水质的电阻率可达16.0MΩ旁边。设备紧张包括:EDI给水泵、精密滤器、EDI 装置等。EDI装置是运用有反渗透系统之后,取代稠浊离子交流床的成熟技能具有产水品质稳定,运行用度低,操作管理方便。占地面积小及无有害废水排放等优点。
3.3.1精密过滤器
0.22μm 过滤器的浸染是扣留经紫外线杀菌器杀去世的细菌尸体,防止进入EDI系统。过滤器中的滤芯,当过滤器进出口压差大于设定值(常日为0.07~0.1Mpa)时应该改换。安装滤芯时应高下对中,否则会破坏滤芯,更严重的会失落去过滤浸染。
EDI正常运行的最低条件:
以下是担保EDI正常运行的最低条件。为了使系统运行效果更佳,系统设计时应适当提高这些条件。
★给水:RO纯水,一样平常水的电导率为4-30us/cm。
★PH:5.0-8.0(在此PH条件下,水硬度不能太高)
★温度:5-35℃
★进水压力:最大为4kg/cm2(60psi),最小为1.5kg/cm2(25psi)。
把稳:组件压力丢失取决于流量和水温。
EDI组件标准配置:
★出水压力:浓水和电极水的出口压力必须低于产品的出口压力。
★硬度(以CaCO3计):最大为1.0ppm,建议采取0.1ppm。
★有机物:最大为0.05ppm。
★氧化剂:最大为0.05ppm(CL2),0.02ppm(03)。
★变价金属:最大为 0.01 ppm Fe。
★二氧化硅:50-150ppb。
★二氧化碳CO2的总量:二氧化碳含量和PH值将明显影响产品水电阻率。在大于10ppm时般应在EDI设备前安装脱气装置。
4.抛光混床(SMB)系统
设置抛光混床是为了更好地降落EDI系统过程中未脱尽的阳离子、阴离子,防止管路系统的二次污染,知足生产给水的须要,担保出水电阻率≥17.5-18.0MΩ.cm。抛光混床内装填的树脂为核级树脂,失落效后无需再生,直接改换。
在后续的水处理工艺中推举采取抛光稠浊离子交流系统。这样,一方面既可发挥树脂交流容量大、无需再生等优胜性,另一方面有利于担保出水水质(出水电阻率≥17.5-18.0MΩ),降落设备运行本钱。
5.光学洗濯纯水设备的储存、分配及灭菌:
对付一个有履历的水处理公司来讲,确定科学合理的纯水制备工艺流程,才能制备出既可以达到用户所需纯水的化学指标,又能知足其物理质量标准的纯水。实践证明,如果出水水质不合格,多数情形涌如今纯水在储存及分配过程中的细菌二次污染。科学的设计纯水储存和分配二环节,是担保纯水不受二次污染的主要手段。为此,东莞佳洁设计了真正的大循环供水办法,设计了20-30%的循环量,且回水管路加装回水紫外线,可有效的预防微生物污染。大循环管道采取低溶出物的C-PVC材质,减少纯水在运送过程中的微离子析出。
延安诚投光学15T/H双级RO+EDI洗濯用纯水设备