图 | 陈晓东(来源:课题组主页)
近日,在博后导师陈晓东以及博士导师染谷隆夫(Takao Someya)的辅导下,江智制备出一种微米厚的超薄电极,其拉伸度高达 300%,可以承受 20 克的重量,历经 5000 次循环仅涌现 1.7% 的变革。
图 | 江智(来源:江智)

就电子皮肤而言,这款超薄电极已能完备知足各方面的哀求,其电学性能优于商业电极,且具备商业电极所不具备的皮肤兼容性和佩戴舒适性,可用于永劫光地记录体表的电生理旗子暗记,比如心电旗子暗记、肌电旗子暗记、脑电图旗子暗记等。
就可植入电子而言,超薄电极具备更加出色的生物兼容性,有望成为一种新型神经界面,可用于人机交互、假肢、神经类疾病治疗等。
(来源:Nature Electronics)
“迈向无感知应力限定的电子学的一大步”
超薄柔性电子器件的研究起源于 2010 年旁边,常日指的是器件整体厚度低于 10 微米的柔性电子器件。
极薄的电子器件厚度,可以在最大程度上降落电子器件的刚度,让电子器件具有良好的变形能力,从而与不规则曲面形成良好的共形贴附,比如形成具有一定纹理的皮肤、或具有三维形状的器官。
同时,当超薄的柔性电子器件植入到动物体内比如大脑、心脏和周围神经等,一样平常不会引发明显的排异反应,故在可穿着和植入等场景具有良好的运用潜力。
然而,此前的超薄柔性电子器件大多构筑在塑性聚合物基底上,可拉伸性比较差,当贴附在枢纽关头处的皮肤、心脏、肌肉、脊髓和周围神经等,用户每每无法忍受长期的佩戴。
目前,能用于上述场景的可拉伸电子器件的厚度,险些都在几十到几百微米,利用时舒适性较低,并且存在器件和组织打仗不良的问题,这会影响数据采集的可靠性、旗子暗记通报的稳定性、以及生物兼容性等。
在这项事情中,江智利用美国药监局已批准的弹性聚合物聚二甲基矽氧烷(Poly(dimethylsiloxane),PDMS),通过改变旋涂速率和 PDMS 的浓度,制备出厚度为 1.3 微米的超薄可拉伸 PDMS 薄膜,并以此做为基底和封装层材料。
(来源:Nature Electronics)
之后,他将这种超薄 PDMS 膜转移到玻璃基底上,后者涂敷着 100 微米厚的 PDMS;接着利用热蒸发工艺,在基底上制备 50 纳米厚的金膜(Au),以作为可拉伸的导电材料;末了将超薄的 PDMS-Au 膜从背底上揭下。
结果创造,只有在具备一定厚度的 PDMS 基底上,蒸镀的金膜才会产生原生的微裂纹,当微裂纹扩展之后,即便被拉伸金膜也不会失落去导电能力。
这解释对付制备超薄可拉伸导体来说,“转移-贴附-脱膜”的过程十分关键。通过设计金属掩模板的图案,可以制备兼具繁芜图案、以及 100 微米高分辨率的多通道电极阵列。
结合相应的封装工艺,还能选择性地通过暴露小面积的金膜来作为电极点,以实现小面积的旗子暗记采集和通报。
此外,这种微米厚的 PDMS-Au 电极能够极大降落可拉伸电极的厚度,并能和生物介质比如皮肤和神经,进行适形打仗和无缝打仗,从而大大提高传感和生物旗子暗记解读的能力。
全体制作过程与工业化微电子器件的制作事理高度兼容。另据悉,课题组还展示了该成果在电子皮肤和植入器件的运用。
当用于皮肤电子时,除了良好的贴附性和机器稳定性,电子器件的透气性也十分主要。为担保皮肤的正常“呼吸”,电子器件的透气性要高于皮肤所须要的呼吸速率。
只管传统 100 微米厚的 PDMS 并不具备这样的透气性,但是当把其厚度降落到 1 微米,超薄的 PDMS 薄膜即可知足皮肤所需的透气性。
此外,电子器件与皮肤的稳定贴附,是其永劫光稳定事情的必要条件。因而,在超薄电子器件与皮肤之间,江智引了一层超薄的粘性聚合物水凝胶,无论是拍浮、跑步还是洗手,可以经受长达 8 小时的穿着,确保超薄电子器件不会从皮肤上脱落,从而实现永劫光地记录人体的心电旗子暗记。
当用于可植入电子器件时,江智以大鼠的坐骨神经为研究工具,分别记录了不同厚度的、基于 PDMS 的可拉伸器件,在坐骨神经上的旗子暗记和刺激通报过程。
结果创造,超薄 PDMS 可拉伸器件能与大鼠的坐骨神经,形成更加良好的共形贴附,因此可以记录具有超高信噪比的神经旗子暗记,同时能以超低的刺激电流,激活坐骨神经的生理活动。
近日,干系论文以《用于无缝皮肤和植入式传感器的 1.3 微米厚弹性导体》(A 1.3-micrometre-thick elastic conductor for seamless on-skin and implantable sensors)为题揭橥在 Nature Electronics 上。
图 | 干系论文(来源:Nature Electronics)
江智是第一作者,陈晓东院士、日本理化学研究所新兴物质科学中央福田健次郎(Kenjiro Fukuda)教授和染谷隆夫(Takao Someya)教授担当共同通讯作者。
总体而言,这一成果证明当超薄电子器件用于体内植入时,具备一定的优胜性,也为设计神经电极、以及其他植入性器件供应了新思路。
同时,在极薄可拉伸电极的课题领域内,该成果也是一项原始型研究。它有望用于各种生物医学运用,包括可穿着传感器、生物电气等。
一位评审专家表示:“与之前由该团队开拓的非可伸缩超薄器件比较,这种超薄可伸缩电子器件该当可以带来更加有出息、更加实际的运用代价,可被视为是迈向无感知应力限定电子学的一大步。”
(来源:Nature Electronics)
一个人超过两个国家的研究
江智表示:“这个课题起源于我在日本事情时,和另一位论文作者(钟俊文博士)的一次谈论。”
当时,他们的目标是制备超薄可拉伸传感器,关键点在于制备微米厚的超薄可拉伸导体。
考虑到电子器件常日具备多层构造,而超薄器件的操作又比较困难。因此,江智希望在全体加工工艺中,全部利用最成熟的电子加工工艺,只有这样才有望担保终极的器件成品率。
于是,他开始在超薄 PDMS 薄膜上对镀金膜进行热蒸,希望制备出可拉伸的超薄导体。只管考试测验了调度热蒸镀的各种工艺,比如蒸镀速率、金膜厚度、蒸镀时腔体温度以及样品的后处理工艺等,但是在超薄 PDMS 薄膜上所制备的金膜,始终没有天生良好的可拉伸性。
屡屡失落败之下,江智通过阅读文献创造,PDMS-Au 实现可拉伸的缘故原由在于微裂纹的扩展,而微裂纹是 PDMS 与 Au 的热膨胀系数不匹配所导致的。
由此可以推测,对付在金膜上天生微裂纹来说,厚度是一项关键成分。
受到胶带法制备单层石墨烯的启示,江智考试测验将超薄的 PDMS,贴在厚的 PDMS 涂敷的玻璃基底上。蒸镀完金膜之后,再将 PDMS-Au 薄膜从基底上揭下来。
这时,所制备的金膜终于天生微裂纹的构造,也实现了良好的可拉伸性。之后,他又将该课题从材料表征、成长机理、器件制备及优化、和器件运用等角度推进。
其表示:“实验期间,我也经历了事情单位的变更,从日本来到新加坡。幸运的是两个单位的导师都很支持我连续推进,也很幸运可以得到其他作者的大力支持。”
而且,江智的单位变革节点,发生在国外疫情比较严重的期间。期间,部分实验的进展相对较慢,须要同时折衷实验部分(仪器培训、工艺优化、开展互助等)和非实验部分(仪器购买、安装、调试、维修等)。虽然过程很大略,但是这一阶段的经历,也让他更加熟习如何建立一间实验室。
(来源:Nature Electronics)
另据悉,江智本科和硕士毕业于哈尔滨工业大学,之后免试入学日本东京大学和日本理化学研究所。
博士毕业后,他先后从事了三站博士后研究,专注于开拓面向实际运用的超薄柔性电子器件系统。
目前,其所在团队正与生物学家开展深度互助,以期开拓更多具备生理学功能的超薄可拉伸器件。
参考资料:
1.Jiang, Z., Chen, N., Yi, Z. et al. A 1.3-micrometre-thick elastic conductor for seamless on-skin and implantable sensors. Nat Electron 5,784–793 (2022). https://doi.org/10.1038/s41928-022-00868-x