隆基绿能取得水汽供应装配及镀膜系统专利能够提升水蒸气供应的精准控制

专利择要显示，本申请公开了一种水汽供应装置及镀膜系统，水汽供应装置包括：运送管路、第一供气组件和第二供气组件；运送管路包括第一输入端、第二输入端和输出端，输出端适于与镀膜设备连通；第一供气组件与第一输入端连通，用于向运送管路中通入水蒸气；第二供气组件与第二输入端连通，用于向运送管路中通入工艺气体。
通过第一供气组件向管路中通入水蒸气，第二供气组件向运送管路中通入工艺气体，水蒸气进入运送管路内，会被工艺气体携载着进入镀膜腔内，利用工艺气体可以起到对水蒸气的稀释浸染，从而确保镀膜腔内的水蒸气含量相对均匀。
同时，在工艺气体的冲刷浸染下，可以减少运送管路内水蒸气的凝集，能够提升水蒸气供应的精准掌握。

本文源自金融界