兴洋科技申请电子级硅烷分娩专利担保产品质量达到6N以上

专利择要显示，本发明公开了一种电子级硅烷生产中在线脱除含卤素化合物杂质的系统和方法，属于高纯制备电子级硅烷技能领域，该系统的粗镏塔、脱轻塔和脱重塔的顶部均设置有冷凝器；粗镏塔的硅烷出口、运送泵和脱轻塔的硅烷入口经管路依次连接，脱轻塔底部的硅烷出口与分子筛柱一底部经管路连接，分子筛柱一顶部与脱重塔的硅烷入口经管路连接；脱轻塔的顶部冷凝器出口与分子筛柱二底部经管路连接，分子筛柱二顶部与粗镏塔上部入口经管路连接；粗镏塔、脱轻塔和脱重塔的底部均连接有再沸器。
本发明通过硅烷脱除含卤素化合物杂质担保产品质量达到6N以上，同时吸附后气体可以直接管受接收，减少后工序处理工艺，降落生产花费提高产量。

本文源自金融界