江丰电子申请异形靶材加工的赞助夹具及其制备方法专利使得赞助夹具固定异形靶材时能够担保产品的平面度与齐心度知足要求

专利择要显示，本发明涉及一种异形靶材加工的赞助夹具及其制备方法，所述赞助夹具包括基板，所述基板的顶面两端分别焊接有第一立板与第二立板，所述第一立板与第二立板的中轴线分别垂直于基板的顶面；所述第一立板与第二立板的顶面分别开设有定位孔，所述定位孔内焊接有定位销；所述第一立板与第二立板的顶面高低差＜0.05mm，顶面平面度＜0.1mm。
本发明将基板与第一立板、第二立板集成于一体，避免涌现剐蹭异形靶材底部的问题；通过掌握第一立板与第二立板的顶面高低差与顶面平面度，使得赞助夹具固定异形靶材时能够担保产品的平面度与同心度知足哀求。

本文源自金融界