上海华力微电子公司(HLMC)是华虹集团子公司之一,成立于2010年1月,是国家“909”工程升级改造项目承担主体,拥有中国大陆第一条全自动12英寸集成电路芯片制造生产线(华虹五厂),工艺技能覆盖55-40-28纳米各节点,月产能达3.5万片。
昨天投产的是华力公司第二条12英寸晶圆厂生产线,总投资387亿元,经由22个月的工期培植日前正式投产,月产能为4万片晶圆,工艺技能从28nm起步,目标是具备14nm 3D工艺生产能力,不过最初的月产能是1万片晶圆,14nm工艺目前也没有量产,还须要韶光进行产能、技能爬坡。
根据《解放日报》的,该项目建成后,华虹集团的集成电路制造能力将覆盖0.5微米-14纳米各工艺技能平台,制造规模进入环球前五位,工艺技能进入环球第一梯队。同时,对上海落实国家集成电路家当发展任务,乃至对国家建立创新能力不断提高、家当规模不断扩大的集成电路家当体系都具有主要意义。

今年5月份,华力半导体的华虹六厂项目实现了首台设备安装,搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT 1980Di光刻机,是目前中国大陆集成电路生产线上最前辈的浸没式光刻机。