工程师用二次离子质谱SIMS检测样品表面身分。
连日来，嘉庚创新实验室工程师黄声超博士都泡在无噪声实验室里，通过三束流聚焦离子束加工与表征系统加工样本，帮助企业优化工艺。这座亚洲首个、也是目前唯一的无噪声实验室，能供应当前环球极限精度的测试剖析与加工条件，是嘉庚创新实验室的闪亮名片之一。
2021年，嘉庚创新实验室设立全资公司——嘉析检测技能做事（厦门）有限公司（以下简称嘉析检测），依托嘉庚创新实验室公共支撑平台能力，在剖析测试、微纳加工和智能打算等方面，集成厦大等各方面的资源，为新能源和电子信息企业以及科研单位供应一站式研发办理方案。
“工欲善其事必先利其器。为助力开展国际领先的原创根本研究，实验室打造总值近3亿的高端举动步伐平台设备，具备环球领先和家当急需的研发举动步伐和实验环境条件，为深入研发剖析和极限精度加工的实现供应了顶尖硬件根本。”嘉析检测副总经理阙启康表示，为了更好支撑产品研发和质量改进，公司集成嘉庚创新实验室和厦门大学的实验室资源，以“打算仿照-材料制备-微纳加工-剖析表征”全流程研发为主线，已为企业和科研院校等200余家用户供应高附加值的技能做事。
打造“无声天下” 做事顶尖根本科学研究
走进嘉庚创新实验室里的“厦门大学无噪声超精密加工和表征实验室”，就进入了天下上震撼最小的几个角落之一。在这里，纳米尺度的科学研究基本不受外界环境滋扰。
黄声超将芯片样本送入仪器后，转身走到实验室外的操控台，开始进行样品的失落效剖析。“芯片放大后就像一栋屋子，通过仪器剖析，可以准确定位出失落效位置并对失落效点进行剖析。”黄声超先容，实验室里还能实现小于3纳米精度的加工、精修等工艺，小于百纳米/秒的振动能让高精尖仪器最大限度发挥浸染。
“无噪声实验室能够为未来纳米尺度下顶尖根本科学研究和工程技能创新供应靠近空想条件。”阙启康说，这是继瑞士、美国、德国后的环球第四座、亚洲首座无噪声实验室，不仅成为厦大师生开展研究的主要平台，三安光电、云天半导体等一批光电、半导体、新材料、仪器装备领域的龙头企业也利用该实验室，推进关键核心材料研发。
据先容，无噪声实验室已配备空间分辨率达到亚埃级的双球差校正透射电子显微镜、三束流聚焦离子束加工与表征系统，以及自主研制的单分子超快光电表征系统，将在空间分辨极限、加工精度极限以及时间分辨极限方面不断打破。“这些设备可供应环球极限精度的丈量、表征与加工条件，为科研职员创造了梦寐以求的研发工具。”阙启康表示。
高端科研平台 知足多种研发测试需求
除无噪声实验室以外，嘉庚创新实验室还培植了微纳加工平台、电子显微平台、谱学剖析平台等高端科研实验室平台，配备大面积、亚十纳米加工精度的电子束光刻机，高通量智能仿真仿照系统等。三层楼的35间实验室，共有30多名固定技能职员在此供应研发剖析等做事，个中博士6人，硕士14人，有多年家当履历的工程师20余人，具备良好的技能办理能力。
晶圆加工、光刻洗濯、镀膜……在嘉庚创新实验室1000平方米的微纳加工平台，一批技能职员正在设备提高行各项操作，帮助企业优化芯片工艺。“这里供应微纳加工打样验证做事，帮助客户尽快实现产品验证，”嘉析检测有关卖力人表示，做事已运用于电子信息、工业制造、生物与医疗科学、航空航天及环境科学等领域，详细知足薄膜制备、图形加工、表征测试及后道封装等一系列加工需求。
在剖析测试中央，十多间实验室按百、千、万级平分歧清洁度分类，技能职员正在这里做材料的纯度、身分、构造及性能等剖析。
“依托嘉庚创新实验室高真个仪器设备和厦大的资源上风，我们希望帮助办理企业研发和生产过程中碰到的材料鉴定和刷选、失落效剖析、工艺改进、新材料与新器件开拓等问题。”阙启康表示，公司未来将连续在新能源、新材料和电子信息领域，为客户供应测试剖析、微纳加工和智能打算等做事，为企业和科研机构供应一站式办理方案。
（文/图 厦门日报 吴君宁 通讯员 杨国宁 黄亚男）
本文来自【厦门日报】，仅代表作者不雅观点。全国党媒信息公共平台供应信息发布传播做事。
ID：jrtt
