在常规工业加工领域中，Ra是常用的表面粗糙度评定参数，其定义为在取样长度L内，轮廓偏距的绝对值的算术均匀值。
2.三维粗糙度评定
随着工业制造越来越精密化，特殊是半导体和3C电子行业，传统的粗糙度评定为二维参数评定，评定的时候在一条线上进行评定，不能够完全地反响全体表面的全部信息，无法知足行业发展需求。
表面描述的三维评定方法是利用区域表面得到所须要的干系信息，给出表面形成机理信息和研究表面的直不雅观图像，三维评定从整体上对零件表面特色进行描述，具有全局性。Sa为常用的三维表面粗糙度评定参数。
Sa为表面算术均匀高度，指轮廓表面内的点与中央面间隔的算术均匀或几何均匀值，在取样区域D上，被丈量的轮廓面和建立的基准面之间的z坐标间隔的算术均匀，即表面粗糙度曲面方程z坐标绝对值的算术均匀，数学表达式如下。
表面粗糙度丈量方案中图仪器拥有丰富多样的粗糙度丈量办理方案，可知足各行业丈量需求。
1.SJ5760-R大量程粗糙度丈量仪
SJ5760-R大量程粗糙度丈量仪Z0轴行程±20µm~±400µm，粗糙度丈量范围Ra0.1μm~Ra64μm，可进行R参数、P参数、W参数、Motif参数等多种参数评定，运用非常广泛。
SJ5760-R用于轴承钢球的表面粗糙度丈量
2.SJ5730高精度粗糙度轮廓丈量仪
SJ5730高精度粗糙度轮廓丈量仪一次丈量可同时评定粗糙度及轮廓参数，具有14mm大量程粗糙度丈量范围，分辨率高达到次纳米级，系统残余偏差极小（<2nm），非常适宜丈量大曲面（轴承、枢纽关头、精密模具、齿轮、叶片、非球面）的超高精度表面粗糙度及微不雅观Pt轮廓。
SJ5730用于圆锥滚子轴承表面微不雅观轮廓Pt及粗糙度丈量
3.SuperView W1光学3D表面轮廓仪
SuperView W1光学3D表面轮廓仪，以白光干涉技能为事理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非打仗式扫描并建立表面3D图像，广泛运用于半导系统编制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造等领域，可测从纳米到微米级别工件的粗糙度。
硅晶圆粗糙度丈量
蓝宝石粗糙度丈量
