狭义的“电子气体”特指电子半导体行业用的特种气体,紧张运用于前端晶圆制造中的化学气相沉积、光刻、刻蚀、掺杂等诸多环节。电子特种气体的纯度和清洁度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技能指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性,对付半导体集成电路芯片的质量和性能具有主要意义。国家从家当政策和资金上对电子特种气行业进行扶持,相继发布《“十三五”国家计策新兴家当发展方案》、《重点新材料首批运用示范辅导目录(2019版)》等,还通过国家大基金一期、二期项目,推动研发和家当化落地。

在我国强调制造升级的基调下,半导体、显示面板、光伏能源、新能源汽车、环保、医疗等行业对中国经济增长的贡献将愈加突出,而电子气体作为以上家当发展中的关键性材料,它的市场规模亦会随着经济规模的增长而保持高速发展,根据卓创资讯统计,2010-2017年,海内特种气体市场均匀增速达15.5%,2017年中国的特种气体市场规模约178亿元。同时,据卓创资讯估量,2022年中国特种气体市场规模将达到41亿元。
根据中国度当信息网的资料显示,空气化工、普莱克斯、林德集团、法液空、大阳日酸等外洋企业合计霸占海内电子特气约 88%的市场份额,市场高度集中(海内气体公司份额仅有12%)。但随着海内气体公司技能的逐步打破,国产替代已是大势所趋。
作为关键性材料,特种气体的产品质量对下贱家当的正常生产影响巨大。如果晶圆加工环节所利用的气体发生质量问题,将导致整条生产线产品报废,造成巨额丢失。因此精密化程度非常高的下贱家当客户对气体供应商的选择极为严格、谨严,须要经由两轮严格的审核认证,集成电路领域的审核认证周期长达 2-3 年,而且一旦通过认证后,为了保持气体供应稳定,客户在与气体供应商建立互助关系后不会轻易改换气体供应商,且双方会建立反馈机制以知足客户的个性化需求,客户粘性不断强化。因此,对新进入者而言,长认证周期与强客户粘性形成了较高的客户壁垒。
海内紧张电子特气企业包括:
华特气体:公司成为海内首家冲破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、光刻气(Ar/F/Ne稠浊气、Kr/Ne稠浊气、Ar/Ne稠浊气、Kr/F/Ne稠浊气)等产品入口制约的气体公司,并实现了近20个产品的入口替代。个中,公司光刻气产品于2017年通过环球最大的光刻机供应商ASML公司的产品认证,是我国唯一通过ASML公司认证的气体公司,亦是环球仅有的上述4个光刻气产品全部通过其认证的四家气体公司之一,下贱客户包括中芯国际、长江存储、台积电等有名晶圆厂商。
金宏气体:是海内特种气体行业领军企业,目前紧张产品包括特种气体、大宗气体和天然气三大类100多个气体品种,金宏气体的超纯氨在海内市场霸占率超过50%,高纯氢气、高纯氧化亚氮、硅烷稠浊气等电子气体的收入也在逐年快速增长。公司成功通过了中芯国际的认证,即将供货中芯国际,长江存储也在认证中。
雅克科技:雅克科技为海内有机磷阻燃剂龙头企业,依赖科技创新,内天生长保温材料业务,成为海内唯一LNG保温绝热板材生产制造商。通过并购华飞电子(海内球形硅微粉最大供应商)、科美特、江苏先科,雅克科技成功切入半导体封装材料、电子特气、IC材料等领域,实现了在半导体材料业务真个快速布局与发展。
昊华科技:公司旗下黎明院、光明院主营电子特气。在含氟电子特气领域,公司下属黎明院紧张产品六氟化硫、三氟化氮海内领先,在建六氟化钨产能。黎明院是海内最早从事六氟化硫研发的企业,亦为海内仅有的高纯度六氟化硫研制企业。