共达电声取得MEMS电容传感器及其制备方法、电子设备专利降低了MEMS电容式传感器的寄生电容,导电钛白粉。

专利择要显示，一种MEMS电容传感器及其制备方法，该传感器包括第一电极构造(200)，该第一电极构造(200)包括位于中间区域的第一导电区域(230a)以及所述第一导电区域周围的绝缘区域(240)，第一导电区域(230a)和绝缘区域(240)为一整体构造，且个中至少一个通过掺杂办法形成。
上述MEMS电容式传感器，通过在第一电极构造中设置在中间区域的第一导电区域导电，第一导电区域周围的绝缘区域绝缘，降落了MEMS电容式传感器的寄生电容，并且无需设置多层绝缘薄膜，避免了残余应力掌握繁芜、多层薄膜剥离和波折的问题。

本文源自金融界