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代表企业：芯源微：海内涂胶显影设备商，市占率约4%。至正科技：紧张产品包括洗濯设备、烘箱设备、堕落设备、涂胶显影设备、去胶设备、分片设备等。固高科技：公司产品在刻蚀、沉积、洗濯等半导体前道加工设备中已形成订单，并积极开拓如光刻机、机器抛光、涂胶显影等晶圆制造前辈制程掌握系统。富乐德：涂胶显影设备洗濯
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代表企业：芯源微：海内涂胶显影设备商，市占率约4%。至正科技：紧张产品包括洗濯设备、烘箱设备、堕落设备、涂胶显影设备、去胶设备、分片设备等。固高科技：公司产品在刻蚀、沉积、洗濯等半导体前道加工设备中已形成订单，并积极开拓如光刻机、机器抛光、涂胶显影等晶圆制造前辈制程掌握系统。富乐德：涂胶显影设备洗濯
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