中国电子：离子注入机实现全谱系产品国产化

IT之家获悉，离子注入机是高压小型加速器中的一种，运用数量最多。
它是由离子源得到所须要的离子，经由加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等 。
离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以知足浅结、低温和精确掌握等哀求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。