如下图所示，对一块空缺的铝制样品台进行不雅观察时，一段韶光后降落放大倍数，创造图像中间有一明显的玄色矩形，我们可以大略的称这种征象叫做碳沉积。
碳沉积紧张事理：在扫描电镜的样品区每每存在一些碳氢化合物，被电子束轰击后，会形成带正电荷的碳离子。扫描电镜不雅观察样品时，电子束在微区扫描使得该区域电子较为富集，碳离子会向该区域富集并沉积下来，影响该区域二次电子旗子暗记的产生。
如下图所示，在一个区域不雅观察一段韶光后，样品表面涌现明显的碳沉积，颗粒表面仿佛有层“薄膜”，影响样品拍照效果。
碳沉积征象会影响电镜图像的拍摄，使得图像清晰度低落，亦会影响能谱对轻元素剖析的准确性。
如下图所示，先对样品某区域进行能谱剖析，5、10 分钟后再对该区域能谱剖析，创造碳元素特色 X 射线峰会升高。
碳氢化合物是引起碳沉积的关键成分，其紧张来源于以下几方面：
1. 样品：样品在制备或存储过程中打仗到油脂等污染物，尤其是一些机器加工的部件，加工过程能黏附有较多油脂。
在不雅观察之前须要用酒精等有机溶剂进行洗濯干燥。一样平常情形下，样品污染越严重，碳沉积征象越明显。
2. 电镜部件：若扫描电镜真空系统有油泵，微量油蒸气进入电镜腔室，加重碳沉积。扫描电镜利用过程中，人手可能会打仗到电镜真空系统中的部件，并且带入一些污染物，或由于操作不当导致样品污染了这些配件。
飞纳电镜的真空系统为无油机器泵，为了打消扫描电镜部件对碳沉积的影响，须要利用职员妥善保管样品杯，不该用的时候须要将样品杯保存在密封袋中或干净盒子中，利用过程须要佩戴手套，避免手上的油脂污染样品杯。
3. 操作员：无论是前期样品制备和装载，还是后期样品的卸载，操作员会打仗到电镜样品和配件。
操作员须要佩戴手套或利用干净制样工具操作。
4. 电镜室环境：电镜和样品长期暴露在较多灰尘的环境中，受污染的概率会加大，亦会加重碳沉积征象。
对付粉末样品，不要在电镜室中制样，以免粉末漂浮在空气中，增加污染电镜腔室的危险。
