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电子工业的血液和粮食含氟电子气体

福州有家装饰工程通讯 2025-03-28 0

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中国是天下电子产品的制造中央,环球有过半以上的各种电子产品由中国大陆生产制造,但制造所需的高档芯片险些全部依赖入口,最近几年其入口值已超过原油,高达2200亿美元。
为此,中心及地方政府相继出台许多利好政策及资金支持,试图能尽快缩短差距,旋转这种尴尬局势。

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表1

电子工业的血液和粮食含氟电子气体 电子工业的血液和粮食含氟电子气体 人工智能
(图片来自网络侵删)

2、电子气体

2017年全国各地兴起了一股环球难以看到的“半导体热”,不同的半导系统编制造过程利用的气体种类不同,对气体纯度的哀求也不一样,然而没有高质量的气体,半导系统编制造无从谈起。
2017年我国气体尤其是用于IC(集成电路)制造的各种高纯气体、电子稠浊气体发生了爆发性的发展和惊人的进步,许多有影响的外资气体公司也开始抢滩中国,以各种办法在海内开展本土化生产。

电子气体是特种气体的一个主要分支,是超大规模集成电路、平面显示器件、太阳能电池,光纤等电子工业生产不可或缺的原材料,广泛运用于薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积、扩散等半导体工艺。
在国家发展改革委《家当构造调度辅导目录(2011年本)(改动)》中,电子气体被列入国家重点鼓励发展的产品和家当目录。
其紧张种类见表2。

表2

天下紧张的电子气体生产商:

以上这些公司险些垄断了环球电子气体市场。
随着中国电子行业的迅猛发展,我国的电子气体国产化生产和市场霸占率也在不断打破,但与国外仍有一定差距。

就短期而言,电子特气朝高纯的方向发展是电子气体家当的一个一定趋势,这就哀求电子气体的生产纯化技能不断提升以知足市场对纯度的哀求,进而实现其代价。

3、含氟电子气体

含氟电子气体是电子气体领域的高端产品,紧张涉及表2中的氟化物系列、含氟的硅化物、含氟的硼化物等电子气体,在半导系统编制造过程中扮演着重要的角色,紧张用作洗濯剂、蚀刻剂、掺杂剂及成膜材料等,约占电子气体市场的30%。

目前,我国能够自主且规模化生产CF4、CHF3、CH2F2、CH3F、C2F6、SF6、NF3、BF3、COF2等含氟电子气体,但是国产含氟电子气体难以得到下贱运用企业的认可,除CF4、SF6和NF3外,险些没有或仅有少量国产化的含氟电子气体产品在市场上发卖。

如今,海内半导体行业所用的含氟电子气体90%以上是由外国独资或合伙企业供应,美国空气化工、法国液空集团、德国林德等气体行业的巨子在海内都建立了多家合伙公司。

4、我国发展现状及展望

随着人们对电子产品的需求迅速增加,电子行业得到了空前的发展,高纯、超高纯的含氟电子气体的市场需求量也急剧增长。
无疑作为原材料的特种气体存在很大的发展空间。

由于特种电子气体行业投资大,尤其是含氟电子气体生产商须具有雄厚的资金实力和研发能力。
因此,我国含氟电子气体发展水平与天下前辈水平存在一定的差距,紧张的缘故原由是海内含氟电子气体品种不完好,研究和生产的干系技能和配套还不足完善。

随着《中国制造 2025》的提出,集成电路被放在发展新一代信息技能家当的首位,考虑到我国集成电路制造材料家当链的完全性,国家干系的家当政策和家当发展操持应重视超净、高纯原材料的发展布局,强化整条家当链的深度领悟,摆脱核心环节受控于人的局势,确保集成电路家当未来的自主可控发展。
因此,作为集成电路家当关键材料的含氟电子气体发展前景广阔,国产化也是大势所趋。

——END——

小蚂蚁科研独家整理,转载请注明出处。

参考文献:

我国含氟电子气体发展现状及技能进展 作者:徐 娇,张建君等

含氟电子气体纯化方法磋商与展望 作者:齐仲龙,杨会娥等

中国关键电子气表示状及未来 作者:孙福楠

2016: 中国气体 作者:孙福楠,于大秋

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