近日，位于绍兴滨海新城的浙江上方电子装备有限公司驶出了6辆大卡车，上面装着的是我国首套国产半导体显示核心装备——8.6代新型显示PVD（物理气相沉积）设备，顺利交付给海内客户。
PVD设备是显示面板生产中非常核心的镀膜工艺设备，在生产电视屏、手机屏、电脑屏等都要用到。“8.6代的PVD设备镀膜的显示面板的尺寸更大了，靠近于4个75寸大小的电视屏。”“上方电子”副总经理周海龙说，这套设备已处于天下前辈水平，一举冲破了国外的垄断局势。
我国是环球最大的显示面板生产国，但PVD等关键技能装备始终被美国和日本公司垄断。过去三年，我国半导体显示关键技能装备100%全靠入口，每年的入口额超过1000亿元。为了推动核心装备国产化，2014年，国家发改委和工信部联合对重点家当项目立项，个中有一个项目：8.5代半导体显示PVD设备研发和家当化。创立才3年“上方电子”通过评审，一举拿下了该项目。
拿下国家重大科技攻关项目，靠的是研发实力。“上方电子”100多名员工中，有研发职员40多人，核心研发职员来自于美国硅谷和台湾，有着多年的半导体显示领域研发经历。更为主要的是，“上方电子”此前已成功研发出了5.5代半导体显示PVD设备的样机，引起了行业关注。“项目一经立项，科研资金就打进了公司账户。” 周海龙说，国家把这么重大的科技项目交给公司，看中的便是公司的研发实力。
只管有了研发根本，PVD设备从5.5代到8.5代连升三代，研发难度呈几何级数上升。“设备的镀膜面积的大小，一下子增加了3倍多。”公司研发职员说，设备研发涉及到数千个零部件，用到六七门交叉学科，繁芜程度不可想象。在三四年韶光里，“上方电子”占领了成千上万个技能难题，得到了11项国家发明专利。尤其是自主研发了旋转阴极镀膜技能，将纳米镀层的偏差缩小至5%以内，同时，将材料利用率从35%提升至80%。
据理解，8.5代PVD设备研发成功后，海内显示面板企业就抛来了“橄榄枝”。“上方电子”交付的首台8.6代PVD设备，则是应海内大型显示面板企业的需求，在8.5代根本上进行的升级。“公司已走上了发展的快车道。”周海龙透露说，目前，来自客户的订单不断，2018年公司实现发卖超过1亿元。
