硅棒生产涉及晶体成长过程,个中的温度掌握直接影响晶体的成长速率、晶体构造和品质。适当的温度条件有助于得到均匀、高质量的硅晶体。温度的变革可能导致杂质的扩散或反应,影响硅棒的纯度。通过监测温度,可以降落杂质掺入并确保硅棒的高纯度。由此可见,对硅棒生产进行温度监测十分必要。
过去传统的在线式红外点温仪检测硅棒,不能进行多点检测,也无法进行温度非常报警,随意马虎影响硅棒的品质。
红外热像仪用于硅棒生产温度监测——案例先容

现场需求:
现场有粉尘,永劫光利用会使镜头受到粉尘遮挡,影响测温精度。须要精确检测每根硅棒的最高温度点和最低温度点对超过规定的工艺温度范围进行报警和记录。硬件设备:
格物优信在线式红外热像仪
针对客户需求1,对热像仪加装防尘保护装置
针对客户需求2和3,配备IRTool Pro专业红外剖析软件,该软件功能丰富,可知足不同用户不同场景需求
支持高低温追踪功能,自动捕捉最高/最低温度点
可设定报警温度,分为超温报警、高温区间报警、低温报警、温度区间报警、温度区间外报警。
红外热像仪对硅棒生产进行温度监测的意义:
能够及时捕捉硅棒在生产中温度变革,及时向操作职员供应反馈,使其能够在须要时迅速调度工艺参数。能够直不雅观地显示硅棒表面的温度分布情形。这有助于检测温度不屈均性,以及根据分布调度加热源位置和强度。可以快速检测温度非常或非常变革,如温度过高、过低等情形,及时触发警报或提醒,帮助操作职员防止潜在不合格硅棒的产生。可以记录温度数据随韶光的变革。这些数据对付温度趋势剖析、工艺参数优化和质量掌握非常有用。红外热像仪在硅棒生产温度监测中起到了关键的监控、警示、优化和质量保障浸染,为高质量硅棒的制备供应了有力的支持。