扬杰科技取得CN112259456B专利提高产品线条美观、降低产品过腐蚀导致报废的高风险

专利择要显示，一种改进钝化层表面金属堕落残留的堕落工艺。
涉及一种半导系统编制造—湿法堕落工艺技能领域，尤其涉及一种改进钝化层表面金属堕落残留的堕落工艺。
供应了一种提高产品线条都雅、降落产品过堕落导致报废的高风险的一种改进钝化层表面金属堕落残留的堕落工艺。
本发明中用NIAG堕落液取代AL堕落液：NIAG堕落液的堕落速率比AL堕落液慢，在担保了产品线条都雅的同时也降落了产品过堕落导致报废的高风险。
用NIAG堕落液取代AL堕落液的条件为担保NIAG堕落的过程中，金属层表面不存在NIO和NI是极易被氧化的金属，本案在第一次经由PBE堕落液后不过水槽，直接进行NIAG堕落就避免了NI被氧化的问题。
本发明具有提高产品线条都雅、降落产品过堕落导致报废的高风险等特点。

本文源自金融界