海内紧张下贱晶圆厂扩产进展更新:我们估量 2022 年中芯国际、合肥长鑫、华虹集 团、长江存储均为扩产主力。按照操持来看,海内近些年较快扩产的紧张本土厂商包括 长江存储、中芯国际、合肥长鑫、华虹集团(包括华虹无锡、华虹宏力、华力微、华力 集成等);各厂紧张扩产操持梳理如下:
1) 长江存储:3D NAND Flash 存储器海内龙头 IDM,三期总产能方案 30 万片/月。 长江存储一期项目于 2018 年投产,2019 年产能达到 2 万片/月,2020 年扩产至 约 5 万片/月,我们估量一期结束 2021~2022 有望达到 10 万片/月产能,二期土 建已于 2020 年 6 月开工,加大将来三期项目合计产能方案共 30 万片/月。
2) 中芯国际:中国大陆晶圆代工龙头,深圳、北京京城、上海临港项目依次扩产, 已表露产能方案未来有望新增约 40 万片/月。我们估量 2022 年深圳 12 英寸从 零起步产能爬坡(满产将达 4 万片/月,现清洁室已就绪)、上海临港厂房有望动 工,2022 年下半年北京京城项目建成进入清洁室安装,2023 年京城厂有望产能 爬坡(一期满产将达 10 万片/月,总计两期 20 万片/月)、临港厂房建成进入洁 净室安装,2024 年临港爬产(满产 10 万片/月)。此外 8 寸方面,天津、深圳、 上海厂均有连续扩产空间;在 12 英寸前辈制程(14nm)方面,若后续设备获取 顺利,上海中芯南方厂区还有连续扩产可能,现有一期清洁室支持 3.5 万片/月 (现产能 1.5 万片/月),预留空地支持二期新增 3.5 万片/月。

3) 华虹无锡:12 英寸成熟制程头部厂商,2022 年持续扩产,新项目有望上马,有 望扩展 10 万片以上月产能。我们估量华虹无锡一期(Fab 7)产能从 2021 年 4 万片/月扩展至 2022 年约 9 万片/月(12 英寸),2022~2023 年有望开始新建二 期(Fab 9),额外新增 8~9 万片/月产能。
4) 华力集成:12 英寸前辈制程头部厂商,后续有望新建 Fab 8。我们估量产能逐 步扩展至满产 4 万片/月。根据华虹集团 2021 环球供应商年会新闻稿,华力有望 于 2021 年内启动培植 Fab 8,新增约 4 万片/月前辈制程产能。
5) 长鑫存储:DRAM 存储器海内龙头 IDM,三期总产能方案 37.5 万片/月。我们估量产能将从 2021 年初 4 万片/月扩展至 2022~2023 年 12.5 万片/月,同时 2022~2023 年有望启动二期培植(12.5 万片/月)。
2 设备类型:薄膜沉积、刻蚀、过程掌握等设备招标数量较多,均为百亿美金级别市场从晶圆厂内各工艺环节来看,薄膜沉积、光刻、刻蚀设备是产线中总代价量最高的 三类半导体设备,均占环球半导体设备市场的 20%以上。晶圆厂内半导体设备按照类型 可大致分为薄膜沉积、光刻、刻蚀、过程掌握、自动化制造和掌握、洗濯、涂布显影、 去胶、化学机器研磨(CMP)、快速热处理/氧化扩散、离子注入、其他晶圆级设备等类 别,个中薄膜沉积、光刻、刻蚀、过程掌握占比最大。
我们将长江存储、华力集成、华虹无锡近五年招投标样本数据进行整理,由于招投 标设备口径为机台数量占比,与 SEMI 的发卖额数据比较略有出入,但总体靠近。为便 于统计比较,我们招投标数据中暂未将厂务系统、赞助设备、封装测试设备、自动化搬 送系统列入统计范围。由于三座厂商均为晶圆厂,封装测试设备采购数量有限且不具代 表性,故不计入下文统计和剖析范围内,厂务系统(如机电安装、管理系统等)、赞助设 备(如化学品运送)、自动化搬送系统属于晶圆厂内根本举动步伐,从设备台数角度可比意义 不大,因此未计入统计剖析范畴。
长江存储:薄膜沉积、刻蚀、过程掌握、氧化扩散/热处理设备招标数量占比较大。 从机台招标数量来看,长江存储在 2017~2020 年间招标采购薄膜沉积设备数量较多,占 比约 32%;刻蚀、过程掌握、氧化扩散/热处理设备数量占比分别为 18%、15%、11%。 光刻设备金额占比较高,但由于单机价格较高,从数量而言招标采购数量占比并不高。
华力集成:过程掌握、薄膜沉积、洗濯招标数量占比较高。从机台招标数量来看, 华力集成在 2016~2021 年间招标采购过程掌握设备数量较多,占比约 27%;薄膜沉积、 洗濯、刻蚀设备数量占比分别为 18%、15%、12%。
华虹无锡:过程掌握、氧化扩散/热处理、刻蚀、薄膜沉积招标数量占比较高。从机 台招标数量来看,华虹无锡在 2018~2021 年间招标采购过程掌握设备数量较多,占比约 23%;氧化扩散/热处理、刻蚀、薄膜沉积设备数量占比分别为 19%、13%、12%。
3 国产化趋势:美日设备占比最高,国产占比呈现显著上升趋势
从行业格局来看,美日欧厂商在半导体设备领域具备传统上风,霸占半导体设备全 球前 15 名席位。国际主流厂商中,运用材料、泛林、东京电子在薄膜沉积、刻蚀领域具 备领先地位,科天在过程掌握(检测、量测)设备处于领导地位,均稳居环球前五位置。 据我们估算,2020 年中国大陆厂商营收在环球市场占比约 2%旁边。
长江存储:各中标供应商按照总部地区划分,美日占比最高,中国大陆占比持续提 升。从近五年长江存储招投标项目累计数量来看,美国、日本厂商中标项目数量占比分 别达 43%、30%,反响出两地区厂商仍霸占主流地位。五年累计招标中,中国大陆厂商 中标项目数量占比 15%,分年度看,2020 年长江存储 541 项设备招标中,中国大陆厂商 中标项目数量占比 17%,而 2021 年(截至 10 月 18 日)长江存储 352 项设备招标中, 中国大陆厂商中标项目数量占比达到 20%,过去几年呈现逐渐上升趋势,相应美国厂商 中标项目数量占比呈现低落趋势。
华力集成:美日占比最高,中国大陆 2020 年占比达 28%。从近六年华力集成招投 标项目累计数量来看,美国、日本厂商中标项目数量占比分别达 48%、28%,反响出两 地区厂商仍霸占主流地位。六年累计招标中,中国大陆厂商设备中标项目数量占比 13%, 分年度看,2019 年华力集成 159 项设备招标中,中国大陆厂商中标项目数量占比 20%, 2020 年华力集成 164 项设备招标中,中国大陆厂商中标项目数量占比 28%,2021 年 (截至 10 月 18 日)华力集成 30 项设备招标中,中国大陆厂商中标项目数量占比 23%。
华虹无锡:美日占比最高,中国大陆近两年占比达 23%。从近四年华虹无锡招投标 项目累计数量来看,美国、日本厂商中标项目数量占比分别达 38%、27%,反响出两地 区厂商仍霸占主流地位,中国大陆厂商设备中标项目数量占比 21%,分年度看,2019 年 华虹无锡 174 项设备招标中,中国大陆厂商中标项目数量占比 18%,2020 年华力集成 257 项设备招标中,中国大陆厂商中标项目数量占比 23%,2021 年(截至 10 月 18 日) 华力集成 73 项设备招标中,中国大陆厂商中标项目数量占比 23%,近两年国产厂商占比 有明显提升。(报告来源:未来智库)
4 设备厂商现状:精良国产厂商呈现,国产替代有望加快
海内涵半导体设备各细分领域呈现出一批精良公司。由于半导体设备种类繁多,制 造事理互异,在各细分领域中已形成具备一定规模和海内替代技能实力的国产细分龙头 厂商,但与外洋厂商比较技能实力与收入体量相差仍大。北方华创为海内规模最 大、产品覆盖最广的半导体设备公司,在氧化扩散/热处理、PVD 设备具备较强的产品竞 争力,硅刻蚀和金属刻蚀、洗濯机亦导入长江存储。
中微公司为海内半导体设备技能领 先龙头,在集成电路制造利用的刻蚀设备以及 LED 外延片成长利用的 MOCVD 设备领域 技能领先,在长江存储介质刻蚀份额已达到 30%旁边水平,已横向拓展化学气相沉积和 量测设备等市场。盛美上海在洗濯设备方面通过自研技能办理了兆声波洗濯的缺陷,与 国际龙头差异化竞争,争夺高端市场,同时横向拓展电镀、立式炉,以及前辈封装所用 的刻蚀、涂胶显影、抛光、去胶等设备。
长江存储:中标供应商中,北方华创、屹唐股份、中微公司、盛美上海位列国产供 应商前列。美国厂商(泛林、运用材料、科天、Onto、泰瑞达等)、日本厂商(东京电子、 国际电气、迪恩士、爱德万等)仍是采购主流。海内厂商方面,公开招标数据显示, 2017~2021 年间北方华创在长江存储共中标 46 次、131 台设备,屹唐股份同期在长江存 储共中标 46 次、100 台设备,中微公司同期在长江存储共中标 37、59 台设备,盛美上 海同期在长江存储共中标 29 次、35 台设备。
华力集成:中标供应商中,盛美上海、北方华创等位列国产供应商前列。海内厂商 方面,公开招标数据显示,2016~2021 年间盛美上海在华力集成共中标 17 次、21 台设 备,北方华创同期在华力集成共中标 11 次、22 台设备,屹唐股份同期在华力集成共中标 10 次、12 台设备,上海天隽机电设备有限公司同期在华力集成共中标 9 次、42 台设备 (均为研磨液供应设备),杭州广立微电子设备有限公司同期在华力集成共中标 8 次、14 台设备(均为 EDA 软件或晶圆电性测试仪),中微公司同期在华力集成共中标 7 次、15 台设备。
华虹无锡:中标供应商中,盛美上海、北方华创、中微公司等位列国产供应商前列。 海内厂商方面,公开招标数据显示,2018~2021 年间盛美上海在华虹无锡共中标 22 次、 23 台设备,北方华创同期在华虹无锡共中标 16 次、21 台设备,中微公司同期在华虹无 锡共中标 10 次、11 台设备,华海清科同期在华虹无锡共中标 9 次、10 台设备,屹唐股 份同期在华虹无锡共中标 8 次、16 台设备,拓荆科技同期在华虹无锡共中标 6 次、6 台 设备。
以下我们分设备类型,连续剖析各种细分设备中国际和海内厂商中标情形。
1、刻蚀:国产化率 22%,中微公司、北方华创、屹唐股份三强崛起
长江存储:国产刻蚀设备紧张采购自中微公司、北方华创、屹唐股份。在长江存储 2017~2021 年刻蚀设备招标中,中微公司设备中标数量位列第三,累计 58 台,仅次于泛 林、东京电子,高于运用材料,表示出中微公司在刻蚀设备领域达到国际水平的技能竞 争力。北方华创、屹唐股份仅次于运用材料,分别录得 24 台、18 台。
从刻蚀细分类型来看,中微公司紧张中标设备包括通孔刻蚀、打仗孔刻蚀、介质 (氧化硅等)刻蚀、沟槽刻蚀等,个中 2020 岁首年月次中标沟槽刻蚀;北方华创紧张中标设 备包括硅槽刻蚀、铝刻蚀等;屹唐股份紧张中标设备为介质(氮化硅、氮氧化硅等)刻 蚀、钝化层刻蚀等。
华力集成:中微公司中标数量位列第二,仅次于泛林,高于东京电子、运用材料。 过去五年华力集成招标期间,中微公司共中标 15 台,北方华创中标 1 台。个中中微公司 中标设备包括光阻刻蚀、铜互连沟槽刻蚀、钝化膜刻蚀、通孔刻蚀、多晶硅刻蚀等,北 方华创中标设备为多晶硅 STI 刻蚀。
华虹无锡:中微公司位列第二,仅次于泛林,高于迪恩士、东京电子。中微公司共 中标 11 台,北方华创中标 6 台,个中中微公司中标设备包括钝化膜刻蚀、氧化膜刻蚀、 介质侧墙刻蚀等,北方华创中标设备包括多晶硅刻蚀、浅沟槽刻蚀等。
总结:刻蚀设备方面,中微公司、北方华创、屹唐股份分列海内前三,个中中微公 司工艺覆盖范围相对较广,其主力出货类型为 CCP(电容耦合等离子刻蚀),面向介质刻 蚀较多,近期 ICP(电感耦合等离子刻蚀)逐步发力,未来工艺范围有望进一步拓宽;北 方华创紧张工艺覆盖为多晶硅、浅沟槽、铝刻蚀等类型,紧张面向金属、硅等导体刻蚀 为主;屹唐股份在长江存储得到大量采购,紧张面向介质刻蚀。从三座晶圆厂累计招标 情形统计,国产设备中标总数 133 台,晶圆厂招标设备总数 605 台,由此打算国产化率 约 22.0%(按照台数占比,下同)。与国外厂商比较,国产刻蚀设备在刻蚀精度、工艺覆 盖率等方面还存在进一步提升空间。
2、薄膜沉积:国产化率 4.6%,拓荆科技、北方华创、盛美上海为国产前 三强
长江存储:薄膜沉积设备紧张采购日美设备,包括东京电子、国际电气、泛林、应 用材料等。国产厂商中,拓荆科技、北方华创分别中标 14 台、11 台,个中拓荆科技中标 设备紧张为 PECVD(等离子增强化学气相沉积),北方华创中标设备紧张为 PVD(物理 气相沉积)。
华力集成:运用材料中标最多,国产包括拓荆科技、北方华创、盛美上海。个中拓 荆科技中标设备为 PECVD,北方华创中标设备为溅射设备,盛美上海中标设备为铜电镀 设备。
华虹无锡:紧张采购运用材料、泛林,国产厂商包括北方华创、拓荆科技、江苏芯 梦。个中,北方华创中标设备为 PVD,拓荆科技中标设备为 PECVD,江苏芯梦中标设备为化学镀设备。
总结:薄膜沉积设备方面,拓荆科技、北方华创、盛美上海分列海内前三,但三家 厂商设备类型有明显差异,个中拓荆科技紧张为 PECVD(等离子增强化学气相沉积), 北方华创紧张为 PVD(物理气相沉积),盛美上海涉及电镀设备,三家厂商均是对应细分 设备(PECVD、PVD、电镀)领域的海内龙头,家当地位突出。从三座晶圆厂累计招标 情形统计,国产设备中标总数 44 台,晶圆厂招标设备总数 967 台,由此打算国产化率约 4.6%。与外洋厂商比较,国产厂商在薄膜沉积领域工艺覆盖类型方面尚不完善,仍有较 大发展空间。
3、过程掌握:国产化率 2.4%,中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器国 内领先
长江存储:过程掌握设备紧张采购美、日设备,包括 Onto(由 Nanometrics 和 Rudolph Technologies 合并)、科天、日立高新、运用材料、赛默飞等。国产厂商中, 中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器分别中标 7 台、6 台、2 台,个中中科飞测中标设 备紧张为光学表面三维描述量测设备,精测半导体中标设备紧张为膜厚光学关键尺寸量 测仪,睿励科学仪器中标设备为介质薄膜丈量系统。
华力集成:Nova Measuring、科天中标最多,国产仅睿励科学仪器中标。个中 Nova Measuring 为以色列量测设备公司,共计中标 45 台,中标产品包括化学机器研磨 厚度在线丈量设备、光学线宽丈量仪设备、硅片厚度丈量仪、X 射线光电子能谱剖析量测 设备等。睿励科学仪器于 2019 年 11 月中标的 1 台设备为后段膜厚丈量仪设备(BEOL)。
华虹无锡:紧张采购科天、日立高新,国产厂商包括吉姆西半导体科技、无锡卓海。 个中,吉姆西半导体科技 6 台中标设备为膜厚丈量仪,无锡卓海 1 台中标设备为套刻精 度检测机。从两家公司官网我们理解到,吉姆西半导体科技紧张业务为半导体再制造设 备和研磨液供应系统,再制造设备品牌涵盖运用材料、泛林、日新、东京电子、 Nanometrics、Mattson 等;无锡卓海科技专注半导体前道检测与量测设备领域的研发、 制造、修理、技能做事,再制造设备品牌涵盖科天、日立高新、Ruldoph、Quantox、尼 康等。
总结:过程掌握设备方面,中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器属于海内布局领 先企业,个中中科飞测紧张产品为光学表面三维描述量测设备等光学检测设备,精测半 导体、睿励科学仪器紧张产品均为膜厚量测设备。从三座晶圆厂累计招标情形统计,国 产设备中标总数 16 台,晶圆厂招标设备总数 680 台,由此打算国产化率约 2.4%,国产 厂商设备仅覆盖膜厚量测、光学描述量测等类型,品类尚不完好,存在较大市场空间尚 待开拓。
4、氧化扩散/热处理设备:国产化率 29%,北方华创上风较为明显
长江存储:北方华创中标仅次于东京电子,屹唐股份、成都莱普科技亦得到采购。 个中北方华创共计中标 94 台,中标产品涵盖氧化、退火、合金等设备。屹唐股份中标 6 台,紧张为退火设备;成都莱普科技于 2021 年 9 月中标 2 台,为退火设备。
华力集成:东京电子、运用材料等企业领先,北方华创、屹唐股份、盛美上海亦获 得采购。个中北方华创共计中标 4 台,中标产品涵盖退火、合金、氧化炉设备;屹唐股 份(Mattson)中标 2 台,为快速热退火/快速热氧扮装备;盛美上海中标 1 台,为低压高 温氧化炉设备。
华虹无锡:东京电子获采购最多,国产厂商包括北方华创、屹唐股份、上海微电子 等。个中,北方华创中标 10 台设备,包括合金退火炉、真空烘烤炉等;屹唐股份中标 3 台,为快速热退火设备;上海微电子中标 2 台,为背面激光退火设备。
总结:氧化扩散/热处理设备方面,北方华创中标设备数量靠前,尤其是在长江存储 中获采购数量较大。北方华创干系设备紧张以各种氧化炉、退火炉、合金炉等为主;除 北方华创外,屹唐股份、盛美上海等公司亦有干系炉管产品;上海微电子面向 IGBT 等应 用开拓了激光退火设备,与炉管设备有所差异。从三座晶圆厂累计招标情形统计,国产 设备中标总数 124 台,晶圆厂招标设备总数 430 台,由此打算国产化率约 28.8%。
5、洗濯:国产化率 31%,盛美上海中标设备数量国产最多,仅次于日本 迪恩士
长江存储:盛美上海中标设备数仅次于日本厂商迪恩士,国产中标厂商还包括芯矽 科技、北方华创、屹唐股份。个中盛美上海共中标 35 台,中标产品紧张包括各种型单片 式洗濯机。芯矽科技共计中标 5 台,中标产品为零部件洗濯机。北方华创共中标 2 台制 程挡控片蚀刻回收洗濯机,屹唐股份亦于 2021 年中标 2 台洗濯设备。
华力集成:盛美上海中标仅次于日本迪恩士,北方华创、芯源微亦得到采购。个中 盛美上海共计中标 19 台,中标产品涵盖前段、后段工艺的洗濯设备。北方华创中标 13 台,均为部件洗濯设备;芯源微中标 3 台,为刷片洗濯设备。
华虹无锡:迪恩士、盛美上海分列前两位,国产厂商还包括上海稷以科技有限公司。 个中,盛美上海中标 19 台设备涵盖前后段制程,涉及铜线聚合体剥离、铝线及通孔洗濯、 多晶硅氧化膜硅片再生、扩散炉前洗濯等环节,产品运用较为多样。上海稷以科技有限公司于 2021 年 9 月首次中标华虹无锡洗濯设备 1 台,详细产品为 300mm 薄片等离子背 面洗濯机。
总结:洗濯设备方面,盛美上海表现较为突出,在选取的三家晶圆厂中设备中标数 量均位列第二,仅次于日本迪恩士。盛美上海洗濯设备工艺覆盖面较广,基本涵盖前、 中、后段工艺,除盛美上海以外,海内北方华创、芯源微、屹唐股份、至纯科技等企业 均有所布局。从三座晶圆厂累计招标情形统计,国产设备中标总数 99 台,晶圆厂招标设备总数 318 台,由此打算国产化率约 31.1%。当前国产设备紧张在后端制程为主,且部 分用于处理控片、挡片,在正片、前端制程运用相对有限,未来仍存在较大发展空间。
6、去胶:国产化率 74%,屹唐股份、盛美上海国产入围
长江存储:屹唐股份中标数量位列第一。屹唐股份共计中标 74 台,数量超过韩国 PSK,中标产品涵盖前、中、后段干法去胶设备。屹唐股份为中标范围内唯一一家国产 厂商。
华力集成:屹唐股份中标数量位列第一。屹唐股份共计中标 10 台,中标产品为等离 子去胶设备,涵盖前、中、后段去胶工艺。
华虹无锡:迪恩士获采购较多,国产厂商包括屹唐股份、盛美上海。个中,屹唐股 份中标 13 台设备,均为等离子去胶设备;盛美上海中标 4 台,均为前段光刻胶剥离设备。
总结:去胶设备方面,屹唐股份、盛美上海等公司入围,两家设备类型有所差异。 个中,屹唐股份紧张产品为各种等离子体干法去胶设备,其收购的 Mattson 在去胶领域 具有长期技能积累,国产化率相对较高,盛美上海产品为湿法去胶设备。从三座晶圆厂 累计招标情形统计,国产设备中标总数 101 台,晶圆厂招标设备总数 137 台,由此打算 国产化率约 73.7%。
7、化学机器抛光:国产化率 21%,华海清科为海内细分龙头
长江存储:运用材料、华海清科中标最多。个中华海清科共计中标 34 台,仅次于应 用材料,中标产品紧张为层间介质层化学机器抛光机、氧化硅化学机器抛光机、晶圆硅 面化学机器抛光机等。
华力集成:运用材料、荏原制作所领先,海内华海清科中标。华海清科共计中标 4 台,中标产品涵盖硅研磨设备、铜化学机器研磨设备、氧化硅化学机器研磨设备和硅片 背面氧化膜化学机器研磨设备。
华虹无锡:运用材料、华海清科获采购较多。华海清科共计中标 10 台设备,化学机 械抛光工艺涵盖铜、硅片再生、浅沟槽绝缘氧化膜&多晶硅膜、钨等工艺环节,运用领域 较为多样;吉姆西半导体科技中标 5 台,为氧化膜化学机器抛光设备。
总结:化学机器抛光设备方面,华海清科为海内细分龙头,化学机器抛光设备涵盖 铜、硅片再生、浅沟槽绝缘氧化膜&多晶硅膜、钨等多类材料。从三座晶圆厂累计招标情 况统计,国产设备中标总数 48 台,晶圆厂招标设备总数 230 台,由此打算国产化率约 20.9%。与外洋厂商比较,在工艺覆盖率方面,海内厂商有进一步提升空间。
8、离子注入:国产化率 1.4%,烁科中科信国产获采购
长江存储:运用材料、亚舍立(Axcelis)中标较多。运用材料为离子注入领域环球 龙头,共计中标 38 台,中标产品涵盖高束流、中束流等类型;亚舍立 Axcelis 中标 8 台, 紧张为高能离子注入设备。
华力集成:运用材料、住友重工、亚舍立等企业领先,国产烁科中科信得到采购。 运用材料中标设备涵盖高电流、中电流和高能量离子注入设备;住友重工中标设备包括 高电流和中电流落子注入设备;亚舍立中标设备为中电流和高能量离子注入机;烁科中 科信于 2019 年中标 1 台中束流落子注入机。
华虹无锡:住友重工、运用材料获采购最多,国产厂商烁科中科信得到采购。个中, 住友重工、运用材料、亚舍立分别中标 22 台、20 台、4 台离子注入机;烁科中科信于 2020 年中标 1 台,为中电流落子注入设备。
总结:离子注入设备方面,烁科中科信在华虹无锡、华力集成均得到中标,中标设 备均为中束流落子注入设备。从三座晶圆厂累计招标情形统计,国产设备中标总数 2 台, 晶圆厂招标设备总数 139 台,由此打算国产化率约 1.4%,该领域尚存在较大国内外差距, 替代空间广阔。
9、涂胶显影:国产化率 1.1%,芯源微实现国产零打破
长江存储:紧张采购自东京电子,部分迪恩士、汉民科技。尚未采购国产厂商设备。
华力集成:东京电子获采购数量领先,芯源微实现零的打破。个中,国产厂商芯源 微中标 1 台,为防反射层匀胶机设备/BARC Coater。
华虹无锡:18 台招标涂胶显影设备全部采购自东京电子,尚未采购国产厂商设备。
总结:涂胶显影设备方面,东京电子获采购较多,国产设备公司中仅芯源微入围。 芯源微在华力集成中标设备为匀胶机,国产化尚存在较大发展空间。除上述晶圆厂外, 芯源微还在中芯绍兴、上海积塔、青岛芯恩等晶圆厂得到批量招标采购,产品包括聚合 物涂胶显影机、背面涂胶显影机、KrF 匀胶显影机、I-line 匀胶显影机等,公司在海内涂 胶显影设备领域具有一定稀缺性。从前述三座晶圆厂累计招标情形统计,国产设备中标 总数 1 台,晶圆厂招标设备总数 91 台,由此打算国产化率约 1.1%。(报告来源:未来智库)
10、光刻:国产化率 1.2%,阿斯麦绝对垄断,上海微实现国产零打破
光刻机方面,各晶圆厂均紧张采购阿斯麦产品,少量采购日系厂商佳能、尼康。国 产厂商中,上海微电子装备于 2021 年初于长江存储中标一台光刻机。当前在光刻机领域, 后续厂与龙头厂商阿斯麦之间差距仍较为明显。从三座晶圆厂累计招标情形来看,国产 设备中标总数 1 台,晶圆厂招标设备总数 86 台,国产化率约 1.2%,国产化率尚低。
5 总结:测算三座晶圆厂设备国产化率总体在 15%旁边,武断看好设备国产替代趋势
国产化率打算:长江存储、华虹无锡、华力集成设备国产化率(按照设备台数占比, 下同)分别为 16.3%、15%、12.8%。经由前文谈论,我们汇总了三座晶圆厂各种设备的 国产化率情形。从各种型设备来看,去胶、洗濯、氧化扩散/热处理、刻蚀、化学机器抛 光领域国产化率均可达到 20%以上,而薄膜沉积、过程掌握、离子注入、光刻、涂胶显 影设备国产化率尚低。
我们创造,国产化率较高的领域都可以找到相应的海内细分龙头 公司,在去胶领域,屹唐股份收购的 Mattson 公司在等离子体去胶领域具有长期成熟技 术积累,是去胶领域细分龙头厂商,因此国产化率最高;洗濯领域盛美上海深耕多年, 兆声波洗濯技能独特,亦霸占海内出货领先地位;氧化扩散/热处理领域北方华创出货较 多,尤其是在长江存储占比较高;刻蚀领域中微公司在介质刻蚀深耕多年,北方华创在 金属和硅刻蚀长期布局,屹唐股份亦在介质刻蚀具有成熟技能;化学机器抛光领域华海 清科为海内细分龙头。
而国产化率尚低的领域均为产品类型繁多或者技能壁垒较高领域, 尚待韶光开拓,如薄膜沉积产品类型浩瀚,当前国产厂商布局尚且有限,过程掌握、离 子注入和光刻机技能壁垒均较高,需长期技能积淀,海内厂商需经历长期发展有望逐步 打破,目前拓荆科技、中微公司分工协作分别布局 PECVD、LPCVD 化学气相沉积领域, 北方华创布局 PVD 物理气相沉积领域,芯源微在涂胶显影领域实现零的打破,上海微电 子在光刻领域实现零的打破。
三座晶圆厂横向比拟来看,长江存储在设备国产化方面较为积极,总体国产化率高于另两家晶圆厂,这可能是由于长江存储生产存储芯片,为 IDM 模式(设计、制造一体), 设备选择自主性相对高于晶圆厂代工厂(代工厂或需考虑设计客户接管情形)。华虹无锡 与华力集成同属于华虹集团,而华虹无锡各种型设备国产化率基本均高于华力集成(个 别如氧化扩散/热处理、离子注入除外,但相差不大),这可能是由于华虹无锡紧张制程在 90nm~55nm,属于成熟制程,华力集成紧张为 28~14nm,相对付华虹无锡而言属于较 前辈制程,成熟制程在设备国产化率方面相对更高。
产能扩展+国产替代积极推进,看好未来 1~2 年半导体设备行业发展。展望 2022 年, 中芯国际、华虹无锡、华力集成等晶圆代工厂以及长鑫存储、长江存储等 IDM 厂均有持 续产能扩增操持,在当前行业景气、产能紧张背景下,半导体设备公司持续有基本面业 绩支撑。另一方面,美国制裁华为、中芯国际等已经引发海内厂商供应链安全意识,海内晶圆厂有望加快供应链本土化,国产设备厂商接下来 1~2 年有望受益国产份额的阶跃 式提升。
(本文仅供参考,不代表我们的任何投资建议。如需利用干系信息,请参阅报告原文。)
精选报告来源:【未来智库】。未来智库 - 官方网站