富创周详申请晶圆盒运输车扭转限位止回装配专利解决晶圆盒震动跌落风险问题

专利择要显示，本发明涉及半导体加工技能领域，公开了一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置及其事情方法。
该装置包括立板，立板右端设置偏幸轮，左端设置带座轴承、主轴和限位转接板二，限位转接板二内部插入连接有限位块二，带座轴承与主轴后端设置有与限位转接板二、限位转接板一与限位块一，立板左表面设置有止回块，上端连接有导向块和压杆，止回块上表面设置有弹簧支柱一，立板左表面上端设置有弹簧支柱二，弹簧支柱一与弹簧支柱二之间连接有拉伸弹簧，主轴上端设置有挡块。
本发明办理了当前设备方案限位装置安装在转轴附近，调度限位极限时需将转盘拆下，同时当前设备方案无止回装置，转盘构造在取晶圆盒时有发生反转导致晶圆盒震撼跌落风险的问题。

本文源自金融界