2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准 半导体器件》（搜聚见地稿）。规定VOCs的限值现有企业为100mg/m3，新建企业为80mg/m3。
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准 电子元件》（搜聚见地稿）。规定VOCs的限值现有企业为80mg/m3，新建企业为50mg/m3。
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准 电子终端产品》（搜聚见地稿）。规定VOCs的限值现有企业为70mg/m3，新建企业为50mg/m3。
2008年环保部印发《电子工业污染物排放标准平板显示器、电真空及光电子器件》（搜聚见地稿）。规定VOCs的限值现有企业为100mg/m3，新建企业为80mg/m3。
2015年环保部印发《电子工业污染物排放标准》（搜聚见地稿）规定非甲烷总烃最高许可排放浓度为100mg/m3，特殊排放限值是80mg/m3，没有涉及TVOCs。
2018年环保部印发《电子工业污染物排放标准》（二次搜聚见地稿）规定非甲烷总烃最高许可排放浓度为100mg/m3，TVOCs是150mg/m3。特排限值分别为50、100。
地方层面：
北京市《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2007）中规定半导体及电子产品制造VOCs的限值现有企业为50mg/m3，新建企业为20mg/m3。
天津市《工业企业挥发性有机化合物排放掌握标准》（DB12/524-2014）。规定电子工业VOCs最高许可排放浓度为80mg/m3。
上海市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）。规定VOCs最高许可排放浓度为100mg/m3。
2017年广东省《电子工业挥发性有机物排放标准》（搜聚见地稿）。规定VOCs最高许可排放浓度为30mg/m3。
2017年广东省《电子设备制造业挥发性有机化合物排放标准》（搜聚见地稿）。规定VOCs最高许可排放浓度为40mg/m3。
2018年江苏省《半导体行业污染物排放标准》（搜聚见地稿）。规定非甲烷总烃最高许可排放浓度为60mg/m3。
2018年北京市《电子工业大气污染物排放标准》（搜聚见地稿）。规定非甲烷总烃最高许可排放浓度为20mg/m3，TVOCs是40mg/m3。
